多用途電驅型干涉儀控制系統

精密干涉儀主機

精密干涉儀主機：分束器及補償板的平面度優于1/10λ測微螺旋最小分度對應動鏡行程0.00025mm，動鏡行程0.625mm法布里-珀羅反射鏡90%反，1%透，直徑30mm；模塊化，便捷拆卸，可自行組裝，調節。

激光器

He-Ne激光器：長度270mm，外徑46mm，氦氖激光器，632.8nm,TEM00，功率1.0mW,發散角<5mrad，單模輸出；帶有專用電源，尺寸：200*180*70mm；支架：可卡裝50mm以內的激光器或其他管狀物，表面噴砂氧化處理，保證質量的同時外觀的美度也大大提升。

調整架

磁吸式擴束器、延伸架、薄膜夾持架，兩用觀察像屏，透明薄片，擴束鏡架，轉動延伸架保證即使兩個光學件靠近，也可使其上兩個光學件對稱偏離光軸；三維精密調整架等；角度精度±4′，分辨率0.005mm，調節機構保證等雙軸等高，橫向偏差1′，縱向偏差1′

光學元件

BK7 精密退火材料，焦距±2%，直徑-0.2mm，中心偏差3′，光圈1-5；局部誤差為0.2-0.5，面粗糙度60/40（Scratch/Dig），氟化鎂增透膜鍍膜，有效孔徑90%；反射鏡，擴束鏡4.5等；

毛玻璃屏

直徑60mm，高強度鋁合金外框，表面噴砂氧化處理

氣室

氣室測空氣折射率，長度：80 mm

光源

鎢/納雙燈(用于白光干涉)，鈉燈20W；溴鎢燈15W，6V/3V，含電箱控制驅動器

精密電動平移臺

步進電機驅動，自動調整;

高精度的滾珠絲桿，分辨率高；

高精度交叉滾柱導軌副，結構緊湊，運行平穩；

合適科研及工業客戶，可以組成二維、三維調整臺

行程 ：15mm

臺面尺寸： 40x40mm

導軌形式： V-shaped guide rail+ cross   roller

導程：1mm

分辨率：(8細分   0.0006125mm

max速度 ：4mm/s

重復定位精度： <0.001mm

直線度： 0.002mm

平行度： 0.002mm

回程誤差為： <0.0005mm

上下擺動： 25"

左右擺動： 20"

max負載： 5kg

自重： 0.4kg

電器控制

步進電機： 28BYH250B(1.8°)

線纜接口： DB9

極限傳感器： ITR20403 (EVERLIGHT)(2個)

零位傳感器： ITR20403 (EVERLIGHT)(位于行程中間)

傳感器輸入電壓： DC12V~DC24V

傳感器輸出電壓： DC12V~DC24V

傳感器輸出形式： 集電極開路 NPN

驅動控制器

控制一維到三維電動位移臺；

集穩壓電源、驅動器、控制器于一體，采用32位微處理器；

漢字液晶顯示，漢字智能鍵盤；

菜單式操作，可作運行速度、加速度、歸零速度、回差、細分、步進當量等多種設置。每個軸可獨立設置參數；

提供光電開關信號，先進的細分驅動設計，可達64細分，電流可調，確保電移臺處于穩定運行狀態；

標準RS232接口，可與計算機相連，通過計算機實現電動位移臺的操作，操作界面直觀，軟件功能豐富，開放源程序，提供二次開發平臺。

壓電陶瓷

輸出正弦波調制幅度：0-250V連續可調；輸出直流偏置電壓0-25V，連續可調；輸出頻率：20-50Hz

數顯計數裝置

供電電源：DC=9V

光電探測組件：6×6感光面 

計數范圍：0-9999

相應時間：≤0.2S 

光譜響應范圍：300-1000nm

底座配套干涉儀·使用，主體部分可單獨用于測量條紋明暗變化數值

采用迭代采樣法，具有防抖動功能

工作條件

使用環境   (溫度在15℃～40℃，濕度20%-80%)

無強振動源、無強電磁場干擾。

室內保持清潔、無腐蝕性氣體；且與墻面墻體盡量保持一定的距離

CCD攝像頭+測量軟件

測量精度：0.001MM

分辨率：2592X1944P25幀

輸出接口：USB3.0輸出

相機功能：圖像拼接、景深融合、鏡像

相機像素：500萬像素

外接設備：臺式電腦或電腦筆記本

操作方式：鼠標

基本功能：拍照、錄像、測量、存儲

畫質調整：曝光、白平衡、色彩、顏色可調

功能描述：

移動：移動畫面上的測量工具，整體移動或者移動某一個端點

點：標注圖像上的某一點

直線： 繪制一條直線，測量直線的長度

折線： 繪制折線，鼠標右鍵結束繪制，測量折線的總長度

矩形： 繪制一個長方形，測量長方形的面積

不規則多邊形： 繪制不規則多邊形，鼠標右鍵結束繪制，測量多邊形的面積

圓： 圓心和半徑確定圓，測量圓的半徑、面積

兩點定圓： 直徑與圓周的兩點確定一個圓，測量圓的半徑、面積

三點定圓： 圓周上的三個點確定一個圓，測量圓的半徑、面積

圓弧：三個點確定一段圓弧，測量圓弧的長度

角度： 測量角度

點線距： 測量一個點到一條直線的垂直距離

刪除： 刪除一個測量工具，選擇刪除工具后，點擊畫面上測量工具的某一點端點，刪除測量工具  

全部刪除： 刪除畫面上的所有測量工具

導出：導出測量數據到cSV文件中，可用Excel打開